杜邦杜邦AmberTec UP550 OH离子交换树脂应用1 ：半导体超精纯水杜邦杜邦AmberTec UP550 OH离子交换树脂安装技术

 

杜邦杜邦AmberTec UP550 OH离子交换树脂应用1 ：半导体超精纯水杜邦杜邦AmberTec UP550 OH离子交换树脂安装技术

杜邦杜邦AmberTec UP550 OH离子交换树脂为电子级平静型强碱溶液树脂，超低溶出、均结构，专为半导体超精纯水深度精制设计。安装在百级洁净车间，交换柱超纯水多级漂洗，内壁无TOC粒、无离子悬浮，布水装置采用微孔布水，杜绝偏流。承托层采用电子级砂浆，厚度150mm ，法装填杜邦杜邦AmberTec UP550 OH离子交换树脂，全程超湿纯水环境，树脂无严重、无意外污染，装填密度精准控制。安装后超纯水循环灌溉，实时监测电阻率≥18.2MΩ·cm 、TOC≤1ppb ，达标后投入运行。